grijanje mocvd reaktor sa indukcijom
Reaktori za indukcijsko grijanje Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktori su tehnologija koja ima za cilj poboljšanje efikasnosti grijanja i smanjenje štetnog magnetnog spajanja sa ulazom plina. Konvencionalni MOCVD reaktori sa indukcijskim grijanjem često imaju indukcijski kalem koji se nalazi izvan komore, što može rezultirati manje efikasnim zagrijavanjem i potencijalnim magnetskim smetnjama u sistemu za isporuku plina. Nedavno… Čitaj više